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XY位置補正・高低温
フルオートウェハプローバ
PCP-302NT





 PCP-302NT

PCP-302NTは8インチ及び12インチウェハ用の高低温プローバです。
従来の拡張性は保持し、独自の温度コントロール機構を開発したことにより、冷却媒体の気化を無くし、効率のよい温度コントロールを 実現しました。当社独自のXY位置補正機能とプロファイリング機能により、温度によるウェハの変化に対し位置補正による高精度なプロービングが可能です。



 特徴
ウェハサイズ: 8インチ(200mm), 12インチ(300mm)
温度制御範囲:-50℃~180℃
ウェハのサンプリングによるXY位置補正
小スペース :W1740mm × D1000mm(チラーを除く)
プローバとチラーはクイックコネクタにより分離が可能

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