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XY位置補正・高低温
フルオートウェハプローバ
PCP-102NT





 PCP-102NT

PCP-102NTは4インチ~8インチウェハ用の高低温プローバです。
従来の拡張性は保持し、独自の温度コントロール機構を開発したことにより、冷却媒体の気化を無くし、効率のよい温度コントロールを実現しました。 当社独自のXY位置補正機能とプロファイリング機能により、温度によるウェハの変化に対し位置補正による高精度なプロービングが可能です。


 特徴
ウェハサイズ: 4インチ,5インチ,6インチ,8インチ
温度制御範囲:-50℃~180℃ (-55℃~200℃)
ウェハのサンプリングによるXY位置補正
小スペース :W1250mm × D860mm (チラーを除く)
プローバとチラーはクイックコネクタにより分離が可能

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